A reactive agent for decomposing fluorine compounds comprising alumina and an alkaline earth metal compound; a process for decomposing fluorine compounds, comprising contacting the reactive agent with a fluorine compound at a temperature of 200.degree. C. or more; and a process for manufacturing a semiconductor device, comprising an etching or cleaning and a decomposing using the reactive agent.

Ένας αντιδραστικός πράκτορας για την αποσύνθεση των ενώσεων φθορίου περιλαμβάνοντας την αλουμίνα και μια ένωση μετάλλων αλκαλικής γης μια διαδικασία για τις ενώσεις φθορίου, περιλαμβάνοντας ερχόμενος σε επαφή με τον αντιδραστικό πράκτορα με μια ένωση φθορίου σε μια θερμοκρασία 200.degree. Γ. ή περισσότεροι και μια διαδικασία για μια συσκευή ημιαγωγών, περιλαμβάνοντας μια χαρακτική ή καθαρισμός και μια αποσύνθεση χρησιμοποιώντας τον αντιδραστικό πράκτορα.