To move an article in and out of plasma during plasma processing, the
article is rotated by a first drive around a first axis, and the first
drive is itself rotated by a second drive. As a result, the article enters
the plasma at different angles for different positions of the first axis.
The plasma cross-section at the level at which the plasma contacts the
article is asymmetric so that those points on the article that move at a
greater linear velocity (due to being farther from the first axis) move
longer distances through the plasma. As a result, the plasma processing
time becomes more uniform for different points on the article surface. In
some embodiments, two shuttles are provided for loading and unloading the
plasma processing system. One of the shuttles stands empty waiting to
unload the processed articles from the system, while the other shuttle
holds unprocessed articles waiting to load them into the system. After the
plasma processing terminates, the empty shuttle unloads processed articles
from the system, takes the articles away, and gets unloaded and reloaded
with unprocessed articles. Meanwhile, the other shuttle loads unprocessed
articles into the system and the plasma processing begins. Since the
plasma processing system does not wait for the first shuttle, the
productivity of the system is increased.
Για να κινήσει ένα άρθρο μέσα και έξω από το πλάσμα κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας πλάσματος, το άρθρο περιστρέφεται από μια πρώτη κίνηση γύρω από έναν πρώτο άξονα, και η πρώτη κίνηση ο ίδιος περιστρέφεται από μια δεύτερη κίνηση. Κατά συνέπεια, το άρθρο εισάγει το πλάσμα στις διαφορετικές γωνίες για τις διαφορετικές θέσεις του πρώτου άξονα. Η διατομή πλάσματος στο επίπεδο στο οποίο το πλάσμα έρχεται σε επαφή με το άρθρο είναι ασυμμετρική έτσι ώστε εκείνα τα σημεία στο άρθρο που κινούνται σε μια μεγαλύτερη γραμμική ταχύτητα (λόγω να είσαι μακρύτερα από τον πρώτο άξονα) κινούν τις μεγαλύτερες αποστάσεις μέσω του πλάσματος. Κατά συνέπεια, ο χρόνος επεξεργασίας πλάσματος γίνεται πιό ομοιόμορφος για τα διαφορετικά σημεία στην επιφάνεια άρθρου. Σε μερικές ενσωματώσεις, δύο σαϊ'τες παρέχονται για τη φόρτωση και την εκφόρτωση του συστήματος επεξεργασίας πλάσματος. Μια από τις σαϊ'τες στέκεται την κενή αναμονή για να ξεφορτώσει τα επεξεργασμένα άρθρα από το σύστημα, ενώ η άλλη σαϊ'τα κρατά τα μη επεξεργασμένα άρθρα περιμένοντας να τα φορτώσει στο σύστημα. Αφότου ολοκληρώνει η επεξεργασία πλάσματος, η κενή σαϊ'τα ξεφορτώνει τα επεξεργασμένα άρθρα από το σύστημα, παίρνει τα άρθρα μακριά, και παίρνει εκφορτωμένη και ξαναφορτωμένη με τα μη επεξεργασμένα άρθρα. Εν τω μεταξύ, η άλλη σαϊ'τα φορτώνει τα μη επεξεργασμένα άρθρα στο σύστημα και η επεξεργασία πλάσματος αρχίζει. Δεδομένου ότι το σύστημα επεξεργασίας πλάσματος δεν περιμένει την πρώτη σαϊ'τα, η παραγωγικότητα του συστήματος αυξάνεται.