A temperature control system is provided for an optical switch including steerable micro-mirrors. The system includes at least one sensor and associated sensing circuitry for measuring the temperature of a micro-mirror or a region of a substrate near a micro-mirror. The system also includes a controller that responds to a signal provided by the sensing circuitry. The controller response may include activating heating or cooling devices the region that is sensed to adjust the temperature of the region.

Система контроля температуры обеспечена для оптически переключателя включая steerable микро--zerkala. Связанная система вклюает по крайней мере один датчик и воспринимающ сети для измерять температуру микро--zerkala или зону субстрата почти микро--zerkalo. Система также вклюает регулятор отвечает к сигналу поданному воспринимая сетями. Реакция регулятора может включить активируя топление или охлаждая приспособления зона восприняты, что регулирует температуру зоны.