A novel optical-electrical MEMS device overlaid or covered with an optically transmissive substrate held spaced in inverted preferably flip-chip bonded fashion to the device, with transparent electrodes provided in the substrate for generating an upper mirror-actuating field to supplemental the customary lower mirror-well field, enabling complementary operation.

Een nieuw optisch-elektroapparaat MEMS dat met een optisch transmissive substraat gehouden wordt bedekt of wordt behandeld dat op omgekeerde bij voorkeur manier tik-spaander in entrepot aan het apparaat, met transparante elektroden uit elkaar wordt geplaatst die in het substraat voor spiegel-goed het produceren van een hoger spiegel-aandrijvend gebied aan supplementair worden verstrekt het gebruikelijke lagere gebied, dat bijkomende verrichting toelaat.