A dryer for drying a substrate includes: a bath containing a fluid; a
chamber; and an isopropyl alcohol delivery system supplying isopropyl
alcohol vapor to the interface between the substrate and the fluid when
the substrate is removed from the fluid of the bath into the chamber. The
isopropyl alcohol vapor is supplied perpendicularly to a vertical axis of
the substrate. The dryer further includes a chamber environment control
system that supplies a gas into the chamber to dry the substrate and
controls temperature and humidity in the chamber and a chamber heater
attached to the chamber to transfer thermal energy into the chamber. A
drying method includes: immersing a substrate into a fluid contained in a
bath; removing the substrate from the fluid into a chamber; and supplying
isopropyl alcohol vapor into an interface between the substrate and the
fluid perpendicularly to a vertical axis of the substrate. The method
further includes: supplying a gas into the chamber to dry the substrate
and to control temperature and humidity in the chamber; and heating the
chamber to transfer thermal energy into the chamber and the substrate.
Сушильщик для сушить субстрат вклюает: ванна содержа жидкость; камера; и пар спирта изопропила средство доставки спирта изопропила поставляя к поверхности стыка между субстратом и жидкостью когда субстрат извлекается от жидкости ванны в камеру. Пар спирта изопропила поставлен перпендикулярно к вертикальной оси субстрата. Сушильщик более дальнейший вклюает системаа управления окружающей среды камеры поставляет газ в камеру для того чтобы высушить субстрат и контролирует температуру и влажность в камере и подогреватель камеры прикрепленный к камере для возвращения термально энергии в камеру. Drying метод вклюает: погружающ субстрат в жидкость, котор содержат в ванне; извлекать субстрат от жидкости в камеру; и поставляя пар спирта изопропила в поверхность стыка между субстратом и жидкостью перпендикулярно к вертикальной оси субстрата. Метод более дальнейший вклюает: поставляющ газ в камеру для того чтобы высушить субстрат и проконтролировать температуру и влажность в камере; и топление камера для возвращения термально энергии в камеру и субстрат.
