As a scanning device for positioning the irradiation position of the laser beam emitted from a laser oscillator at a position of arbitrary coordinates in the commanded mutually orthogonal X-axis direction and Y-axis direction, two galvanomirrors having mutually orthogonal rotary axes and a scan lens are provided, and the light generated from a printed circuit board irradiated with laser beam is detected by a detector, and approval or rejection of inspection result at each position of coordinates is judged on the basis of the output signal of the detector.

Σαν συσκευή ανίχνευσης για τη θέση ακτινοβολίας της ακτίνας λέιζερ που εκπέμπεται από έναν ταλαντωτή λέιζερ σε μια θέση των αυθαίρετων συντεταγμένων στη διαταγμένη αμοιβαία ορθογώνια κατεύθυνση Χ-άξονα και την κατεύθυνση Υ-άξονα, δύο galvanomirrors που έχουν τους αμοιβαία ορθογώνιους περιστροφικούς άξονες και ένας φακός ανίχνευσης παρέχονται, και το φως που παράγεται από έναν τυπωμένο πίνακα κυκλωμάτων που ακτινοβολείται με την ακτίνα λέιζερ ανιχνεύεται από έναν ανιχνευτή, και η έγκριση ή η απόρριψη του αποτελέσματος επιθεώρησης σε κάθε θέση των συντεταγμένων κρίνεται βάσει του σήματος παραγωγής του ανιχνευτή.