MEMS optical switches can include a substrate having first and second opposing faces and at least one side therebetween. An input is obliquely angled towards the face and optically couples optical radiation towards the face. A movable reflector is on the face and moves from a first position to a second position that is parallel to the first position to reflect the optical radiation from the input to provide reflected optical radiation. A output is obliquely angled away from the face and optically couples the reflected optical radiation away from the face.

Переключатели MEMS оптически могут включить субстрат имея сперва и во-вторых сопротивляясь стороны и по крайней мере одна сторона therebetween. Входной сигнал вкосую angled к стороне и оптически соединяет оптически радиацию к стороне. Подвижной рефлектор находится на стороне и двигается от первого положения к второго положения параллельно к первому положению для того чтобы отразить оптически радиацию от входного сигнала для предусмотрения отраженной оптически радиации. Выход вкосую двинут под углом прочь от стороны и оптически соединяет отраженную оптически радиацию прочь от стороны.