The present invention provides SEM calibration standards, and associated SEM systems and SEM calibration methods, that are self-cleaning with respect to electron beam deposited carbon. The calibration standards have coatings containing a transition metal oxide. The coatings facilitate oxidation of deposited carbon, whereby carbon buildup can be stopped or reversed. By providing a mechanism to mitigate carbon buildup, calibration standards provided by the present invention achieve high accuracy, high durability, and low cost.

A invenção atual fornece padrões da calibração de SEM, e sistemas associados de SEM e de calibração de SEM os métodos, que são self-cleaning com respeito ao carbono depositado do feixe de elétron. Os padrões da calibração têm revestimentos conter um óxido de metal da transição. Os revestimentos facilitam a oxidação do carbono depositado, por meio de que o acúmulo do carbono pode ser parado ou invertido. Fornecendo um mecanismo para mitigate o acúmulo do carbono, os padrões da calibração fornecidos pela invenção atual conseguem a exatidão elevada, a durabilidade elevada, e o custo baixo.