Grating profile data is classified using a cluster generator to generate a plurality of clusters of grating profile data points from a data space containing grating profile data points. The cluster generator associates profile shape data to each cluster, and links the associated profile shape data to the grating profiles belonging to each cluster.

Des données discordantes de profil sont classifiées à l'aide d'un générateur de faisceau pour produire d'une pluralité de faisceaux des points de repères discordants de profil d'un espace de données contenant les points de repères discordants de profil. Le générateur de faisceau associe des données de forme de profil à chaque faisceau, et lie les données associées de forme de profil aux profils discordants appartenant à chaque faisceau.