A dry surface cleaning apparatus removes surface contaminants on a surface of a workpiece. The dry surface cleaning apparatus includes a laser for generating a laser beam, a beam delivery control unit for splitting the laser beam into a first and a second laser beam, a frequency modulator for modulating the second laser beam to generate a shorter wavelength laser beam and a laser focusing lens for converging the first laser beam on a laser focus around the surface of the workpiece to generate a plasma shock wave around the laser focus.

Μια ξηρά καθαρίζοντας συσκευή επιφάνειας αφαιρεί τους μολυσματικούς παράγοντες επιφάνειας σε μια επιφάνεια ενός κομματιού προς κατεργασία. Η ξηρά καθαρίζοντας συσκευή επιφάνειας περιλαμβάνει ένα λέιζερ για την παραγωγή μιας ακτίνας λέιζερ, μια μονάδα ελέγχου παράδοσης ακτίνων για το διαχωρισμό της ακτίνας λέιζερ σε μια πρώτη και μιας δεύτερης ακτίνας λέιζερ, ένας διαμορφωτής συχνότητας για τη διαμόρφωση της δεύτερης ακτίνας λέιζερ για να παραγάγει μια κοντύτερη ακτίνα λέιζερ μήκους κύματος και ένα λέιζερ στρέφοντας το φακό για τη συγκλίνουσα πρώτη ακτίνα λέιζερ σε μια εστίαση λέιζερ γύρω από την επιφάνεια του κομματιού προς κατεργασία για να παραγάγει ένα κύμα κλονισμού πλάσματος γύρω από την εστίαση λέιζερ.