The present invention relates to an ArF excimer laser apparatus for
lithography capable of stretching the laser pulse width even when the
repetition rate exceeds 4 kHz and also relates to a KrF excimer laser
apparatus and fluorine laser apparatus for lithography capable of
stretching the laser pulse width even when the repetition rate exceeds 2
kHz. In a laser apparatus for lithography having laser discharge
electrodes disposed in a laser chamber and a peaking capacitor connected
in parallel to the laser discharge electrodes, the period Tn of the
waveform of an oscillating current flowing in a first circuit loop formed
by the final-stage capacitor of a magnetic pulse compression circuit and
the laser discharge electrode and the period Tp of the waveform of an
oscillating current flowing in a second circuit loop formed by the peaking
capacitor and the laser discharge electrodes satisfy the condition of
5Tp.ltoreq.Tn, and the period Tn satisfies the condition of Tn<250 ns,
whereby a laser oscillating operation is performed by at least 2.5 cycles
of the oscillating current flowing between the laser discharge electrodes.
Присытствыющий вымысел относит к прибору лазера excimer ArF для литографирования способного протягивать ширину ИМПА ульс лазера even when тариф повторения превышает 4 килогерца и также относит к прибору лазера excimer KrF и прибору лазера фтора для литографирования способного протягивать ширину ИМПА ульс лазера even when тариф повторения превышает 2 килогерца. В приборе лазера для литографирования имея электроды разрядки лазера быть размещанным в камере лазера и выступая конденсаторе подключенных параллельно к электродам разрядки лазера, период tn формы волны осциллируя в настоящее время пропускать в первой петле цепи сформированной конденсатором окончательн-3tapa магнитной цепи обжатия ИМПА ульс и лазер discharge электрод и период tp формы волны осциллируя в настоящее время пропускать в второй петле цепи сформированной выступая конденсатором и электродов разрядки лазера удовлетворяет условие 5Tp.ltoreq.Tn, и период tn удовлетворяет условие tn
