A method including the acts of providing a semiconductor device having a
plurality of misalignment ruler markers formed therein for measuring
removable layer opening misalignment in the X and Y directions, a bond pad
and the passivation layer with an opening therein down to the bond pad. A
removable layer is formed over the semiconductor device and includes an
opening therein down to the bond pad. Preferably this action includes
depositing, patterning and developing a dry photoresist film layer over
the semiconductor device with an opening therein down to the bond pad. The
next act includes measuring the misalignment of the opening in the
passivation layer by counting the number of misalignment ruler markers
visibly exposed by the opening in the X-direction and also the
Y-direction.
Μια μέθοδος συμπεριλαμβανομένων των πράξεων της παροχής μιας συσκευής ημιαγωγών που έχει μια πολλαπλότητα των δεικτών κυβερνητών μη ευθυγράμμισης διαμόρφωσε εκεί μέσα για τη μέτρηση της μετακινούμενης ανοίγοντας μη ευθυγράμμισης στρώματος στις κατευθύνσεις Χ και Υ, ενός μαξιλαριού δεσμών και του στρώματος παθητικότητας με ένα άνοιγμα εκεί μέσα κάτω στο μαξιλάρι δεσμών. Ένα μετακινούμενο στρώμα διαμορφώνεται πέρα από τη συσκευή ημιαγωγών και περιλαμβάνει ένα άνοιγμα εκεί μέσα κάτω στο μαξιλάρι δεσμών. Κατά προτίμηση αυτή η δράση περιλαμβάνει την κατάθεση, τη διαμόρφωση και την ανάπτυξη ενός ξηρού photoresist στρώματος ταινιών πέρα από τη συσκευή ημιαγωγών με ένα άνοιγμα εκεί μέσα κάτω στο μαξιλάρι δεσμών. Η επόμενη πράξη περιλαμβάνει τη μέτρηση της μη ευθυγράμμισης του ανοίγματος στο στρώμα παθητικότητας με τον υπολογισμό του αριθμού δεικτών κυβερνητών μη ευθυγράμμισης που εκτίθενται ορατά με το άνοιγμα στην Χ-κατεύθυνση και επίσης την Υ-κατεύθυνση.