Provided is a method for manufacturing a piezoelectric element that has excellent piezoelectric characteristics and can be made into a thicker film. A piezoelectric thin film is crystallized by a process in which piezoelectric precursor films 4021 through 4025 containing the metal elements of a piezoelectric ceramic are coated with a material, dried, pyrolyzed, and then heat-treated under prescribed conditions in a diffusion furnace. With this method, a piezoelectric thin film can be made into a thicker film without initiating cracking.

Υπό τον όρο ότι είναι μια μέθοδος για ένα πιεζοηλεκτρικό στοιχείο που έχει τα άριστα πιεζοηλεκτρικά χαρακτηριστικά και μπορεί να γίνει σε μια παχύτερη ταινία. Μια πιεζοηλεκτρική λεπτή ταινία κρυσταλλώνεται με μια διαδικασία στην οποία οι πιεζοηλεκτρικές ταινίες 4021 προδρόμων μέχρι 4025 που περιλαμβάνουν τα στοιχεία μετάλλων πιεζοηλεκτρικού ενός κεραμικού είναι ντυμένες με ένα υλικό, ξηρό, και έπειτα υποβαλλόμενοι σε θερμοθεραπεία κατώτεροι ορισμένοι όροι σε έναν φούρνο διάχυσης. Με αυτήν την μέθοδο, μια πιεζοηλεκτρική λεπτή ταινία μπορεί να γίνει σε μια παχύτερη ταινία χωρίς έναρξη του ραγίσματος.