A device for use in a micro-electro-mechanical system (MEMS) optical device. The device includes a substrate having opposing first and second sides and a diffusion barrier layer formed over at least the first side. The device further includes a light reflective optical layer formed over the diffusion barrier layer on the first side of the substrate. The second side may desirably have a stress balancing layer located thereover.

Приспособление для пользы в микро--елечтро-mexaniceski приборе системы (MEMS) оптическом. Приспособление вклюает субстрат имея сопротивляться сперва и вторые стороны и слой барьера диффузии сформированный над по крайней мере первой стороной. Приспособление более дальнейшее вклюает светлый отражательный оптически слой сформированный над слоем барьера диффузии на первой стороне субстрата. Вторая сторона может желательно иметь thereover усилия балансируя обнаруженное местонахождение слоем.