A system and methods for substrate preparation are provided. In one example, a wafer processing system includes a system enclosure that contains wafer processing apparatus within an isolated wafer processing environment. The wafer processing apparatus include a pair of immersion tanks in the lower front region of the system with a pair of wafer pickers behind the immersion tanks to extract wafers from the tanks. In the rear of the system, a pair of brush boxes are located in a lower region with a pair of dryer units positioned above the brush boxes. A robot arm is positioned between the pair of immersion tanks and the pair of brush boxes in a middle region of the system, and is configured to transition wafers between the processing apparatus. A pair of output shelves holding output cassettes is positioned over the immersion tanks. The output cassettes receive clean wafers after processing.

Un sistema ed i metodi per la preparazione del substrato sono forniti. In un esempio, un sistema di elaborazione della cialda include una recinzione del sistema che contiene la cialda che procede l'apparecchio all'interno di una cialda isolata che procede l'ambiente. La cialda che procede l'apparecchio include un accoppiamento dei carri armati di immersione nella regione anteriore più bassa del sistema con un accoppiamento delle raccoglitrici della cialda dietro i carri armati di immersione per estrarre le cialde dai carri armati. Nella parte posteriore del sistema, un accoppiamento delle scatole della spazzola è situato in una regione più bassa con un accoppiamento delle unità dell'essiccatore posizionate sopra le scatole della spazzola. Un braccio del robot è posizionato fra l'accoppiamento dei carri armati di immersione e l'accoppiamento delle scatole della spazzola in una regione centrale del sistema ed è configurato alle cialde di transizione fra l'apparecchio d'elaborazione. Un accoppiamento dei vassoi dell'uscita della tenuta delle mensole dell'uscita è posizionato sopra i carri armati di immersione. I vassoi dell'uscita ricevono le cialde pulite dopo l'elaborazione.