An optical member inspection apparatus includes an inspection optical
system having a light source, and a diffusing means for diffusing the
light emitted from the light source. The diffusing means has a central
portion and a peripheral portion. The diffusion transmittance of the
peripheral portion is higher than the diffusion transmittance of the
central portion. The inspection optical system is also provided with an
image pick-up means to pick-up an image of the optical member to be
inspected, and is positioned so as to receive that light emitted from the
light source and transmitted through the diffusing means and the optical
member. A judging means is also provided, for judging whether or not the
optical member has a defect, in accordance with image signals output from
the image pick-up means.
Een optisch apparaat van de lidinspectie omvat een inspectie optisch systeem een lichtbron hebben, en een verspreidend middel die om het licht te verspreiden dat uit de lichtbron wordt uitgezonden. Het verspreidende middel heeft een centraal gedeelte en een randgedeelte. De verspreidingsoverbrenging van het randgedeelte is hoger dan de verspreidingsoverbrenging van het centrale gedeelte. Het inspectie optische systeem wordt ook voorzien van een middel van de beeldoogst tot oogst een beeld van het optische te inspecteren lid, en geplaatst om te ontvangen dat licht dat uit de lichtbron wordt uitgezonden en dat door de verspreidende middelen en het optische lid wordt overgebracht. Een oordelend middel wordt ook verstrekt, voor het beoordelen al dan niet het optische lid een tekort, overeenkomstig de output van beeldsignalen van de middelen van de beeldoogst heeft.