A statistically uniform micro-texture on a polishing pad surface improves
break-in preconditioning time, and is measured by:
Land Surface Roughness, Ra, from about 0.01 .mu.m to about 25 .mu.m;
Average Peak to Valley Roughness, Rtm, from about 2 .mu.m to about 40
.mu.m;
Core roughness depth, Rk, from about 1 to about 10;
Reduced Peak Height, Rpk, from about 0.1 to about 5;
Reduced Valley Height, Rvk, from about 0.1 to about 10; and
Peak density expressed as a surface area ratio, R.sub.SA,
([Surf.Area/(Area-1)]), 0.001 to 2.0.
Una micro-struttura dell'uniforme su una superficie del tampone a cuscinetti per lucidare migliora statisticamente il tempo di presupposto di rodaggio ed è misurata vicino: Atterri la rugosità di superficie, Ra, da circa 0.01 mu.m a mu.m circa 25; Picco medio a rugosità della valle, Rtm, da mu.m circa 2 a mu.m circa 40; Estragga la parte centrale dalla profondità di rugosità, Rk, da circa 1 a circa 10; Altezza peak ridotta, Rpk, da circa 0.1 a circa 5; Altezza ridotta della valle, Rvk, da circa 0.1 a circa 10; ed alzi la densità verticalmente espressa come rapporto di area, R.sub.SA, ([ Surf.Area/(Area-1) ]), 0.001 - 2.0.
