The holder for an electroconductive contact unit according to the present invention uses a silicon wafer having a laminated structure including a first silicon layer, second silicon layer and silicon oxide film which is disposed between the two silicon layers. A small hole is formed in the first silicon layer for coaxially and slidably guiding a head portion of an electroconductive needle member, and a large hole is formed in the second silicon layer for receiving a flange portion of the needle member and a compression coil spring so that the silicon oxide film serves as a stopper for the flange member. Thus, by finishing the surface of the first silicon layer by lapping, the projecting length of the electroconductive needle member can be defined at a high precision. When the object to be tested consists of a silicon wafer, because the holder is made of the same material as the object to be tested, and they undergo a substantial identical thermal expansion, there is no positional shifting of each electroconductive needle member in simultaneously accessing a plurality of points.

Ο κάτοχος για μια electroconductive μονάδα επαφών σύμφωνα με την παρούσα εφεύρεση χρησιμοποιεί μια γκοφρέτα πυριτίου που έχει μια τοποθετημένη σε στρώματα δομή συμπεριλαμβανομένου ενός πρώτου στρώματος πυριτίου, του δεύτερου στρώματος πυριτίου και της ταινίας οξειδίων πυριτίου που διατίθεται μεταξύ των δύο στρωμάτων πυριτίου. Μια μικρή τρύπα διαμορφώνεται στο πρώτο στρώμα πυριτίου για coaxially και slidably να καθοδηγήσει μια επικεφαλής μερίδα ενός electroconductive μέλους βελόνων, και μια μεγάλη τρύπα διαμορφώνεται στο δεύτερο στρώμα πυριτίου για τη λήψη μιας μερίδας φλαντζών του μέλους βελόνων και ενός ελατηρίου σπειρών συμπίεσης έτσι ώστε η ταινία οξειδίων πυριτίου χρησιμεύει ως ένα πώμα για το μέλος φλαντζών. Κατά συνέπεια, με τη λήξη της επιφάνειας του πρώτου στρώματος πυριτίου με την περιτύλιξη, το μήκος προβολής του electroconductive μέλους βελόνων μπορεί να καθοριστεί σε μια υψηλή ακρίβεια. Όταν το αντικείμενο που εξετάζεται αποτελείται από μια γκοφρέτα πυριτίου, επειδή ο κάτοχος αποτελείται από το ίδιο υλικό με το αντικείμενο που εξετάζεται, και υποβάλλονται σε μια ουσιαστική ίδια θερμική επέκταση, δεν υπάρχει καμία θεσιακή μετατόπιση κάθε electroconductive μέλους βελόνων ταυτόχρονα να άσχει πρόσβαση σε μια πολλαπλότητα των σημείων.