To provide a ceramic heater which is better in the durability of an ion
current detecting electrode portion and which can be manufactured at a low
cost. A ceramic heater 1 is provided with: an insulating ceramic substrate
13; a resistance heating element 10 buried in the insulating ceramic
substrate; and an ion current detecting electrode portion 14 formed
integrally with the resistance heating element in the insulating ceramic
substrate and having its own surface portion exposed as an ion current
detecting face to the surface of the insulating ceramic substrate. The ion
current detecting electrode portion 14 is constructed, at its portion
including at least a portion of the ion current detecting face 15, of a
conductive ceramic phase which is composed mainly of non-metallic
conductive ceramic having a cation component made of a nonmetallic
element, such as silicon carbide.
Eine keramische Heizung zur Verfügung stellen, die in der Haltbarkeit eines Ionengegenwärtigen ermittelnden Elektrode Teils besser ist und die an niedrigen Kosten hergestellt sein kann. Eine keramische Heizung 1 wird mit versehen: ein isolierendes keramisches Substrat 13; ein Widerstand Heizelement 10 begrub im isolierenden keramischen Substrat; und ein Ionengegenwärtiger ermittelnder Elektrode Teil 14 bildete sich integral mit dem Widerstand Heizelement im isolierenden keramischen Substrat und im Lassen seines eigenen Oberflächenteils als Ionengegenwärtiges ermittelndes Gesicht der Oberfläche des isolierenden keramischen Substrates aussetzen. Der Ionengegenwärtige ermittelnde Elektrode Teil 14 wird, an seinem Teil einschließlich mindestens einen Teil des Ionengegenwärtigen ermittelnden Gesichtes 15, einer leitenden keramischen Phase, die hauptsächlich aus nicht-metallischem leitendem keramischem besteht, einen Kationbestandteil habend, der von einem nicht-metallischen Element gebildet wird, wie Silikonkarbid konstruiert.