A stage device includes a table having a reference plane parallel to first and second directions; a driving body movable along the first direction; a moving body movable along the second direction with respect to the driving body; a static pressure bearing provided on the moving body; an exhaust groove provided surrounding the static pressure bearing; and a mechanism for delivering a gas of the static pressure bearing recovered by the exhaust groove between the moving body and the driving body. The adverse affects of piping on the moving body can be reduced and it is possible to position the moving body with high precision.

Un dispositif d'étape inclut une table ayant un plan de référence parallèle à d'abord et les deuxièmes directions ; un mobilier amovible de conduite de corps le long de la première direction ; un mobilier amovible mobile de corps le long de la deuxième direction en ce qui concerne le corps de conduite ; un roulement de pression statique a fourni sur le corps mobile ; une cannelure d'échappement a fourni entourer le roulement de pression statique ; et un mécanisme pour fournir un gaz du roulement de pression statique a récupéré par la cannelure d'échappement entre le corps mobile et le corps de conduite. Le défavorable affecte de la tuyauterie sur le corps mobile peut être réduit et il est possible de placer le corps mobile avec la précision élevée.