A preionization device for a gas laser comprises an internal preionization electrode having a dielectric housing around it and an external preionization electrode displaced from the dielectric housing by a small gap. The dielectric housing includes two cylindrical regions of differing outer radii of curvature. An open end of the housing has a larger radius of curvature than the other end which is closed. The internal electrode connects to circuitry external to the discharge chamber via a conductive feedthrough which penetrates through the housing. The external circuitry prevents voltage oscillations caused by residual energy stored as capacitance in the dielectric housing. The external preionization electrode, which is connected electrically to one of the main discharge electrodes, is formed to shield the internal preionization electrode from the other main discharge electrode to prevent arcing therebetween. The external electrode is also formed to shield the outer gas volume and walls of the discharge chamber from the preionization unit. A semi-transparent external electrode prevents charged particles emanating from the main discharge area from settling on the housing and causing field distortion and discharge instabilities.

Un dispositivo di preionization per un laser del gas contiene un elettrodo interno di preionization che hanno un alloggiamento dielettrico intorno esso e un elettrodo esterno di preionization spostato dall'alloggiamento dielettrico da un piccolo spacco. L'alloggiamento dielettrico include due regioni cilindriche dei raggi esterni differenti di curvatura. Un'estremità aperta dell'alloggiamento ha un più grande raggio di curvatura che l'altra estremità che è chiusa. L'elettrodo interno collega a circuiti esterni all'alloggiamento di scarico via un feedthrough conduttivo che penetra tramite l'alloggiamento. I circuiti esterni impediscono le oscillazioni di tensione causate da energia residua memorizzata come capacità nell'alloggiamento dielettrico. L'elettrodo esterno di preionization, che è collegato elettricamente ad uno degli elettrodi principali di scarico, è formato per proteggere l'elettrodo interno di preionization dall'altro elettrodo principale di scarico per evitare l'effetto ad arco therebetween. L'elettrodo esterno inoltre è formato per proteggere il volume del gas e le pareti esterni dell'alloggiamento di scarico dall'unità di preionization. Un elettrodo esterno semi-trasparente impedisce le particelle caricate che derivano dalla zona principale di scarico la sedimentazione sull'alloggiamento e causare le instabilità di distorsione e di scarico del campo.