An article and method for producing extremely small pore inorganic membranes. The method enables reduction of the pore size of a porous inorganic membrane, such as metal oxides, metal carbides, metal nitrides and cermets. Mean pore diameters of below about 10 .ANG.. Can readily and efficiently be achieved. After the conventional formation of an inorganic membrane, the pore size of the membrane is progressively reduced in a controlled manner to deposit one or more layers of an inorganic compound on the pore walls. This is done by exposing the membrane to the vapor of an inorganic precursor compound. The compound reacts with hydroxyl groups and or absorbed water molecules on the surface of the membrane and is thus bonded to the surface. Water vapor, oxygen, or vapors containing one or more oxygen ligands such as an alcohol are used to hydrolyze the deposited material to the inorganic membrane.

Een artikel en een methode om uiterst kleine porie anorganische membranen te veroorzaken. De methode laat vermindering van de poriegrootte van toe een poreus anorganisch membraan, zoals metaaloxyden, metaalcarbide, metaalnitriden en cermet. Beteken de poriediameters van onder ongeveer 10. ANG.. gemakkelijk en efficiënt kunnen worden bereikt. Na de conventionele vorming van een anorganisch membraan, wordt de poriegrootte van het membraan progressief verminderd op een gecontroleerde manier om één of meerdere lagen van een anorganische samenstelling op de poriemuren te deponeren. Dit wordt gedaan door het membraan aan de damp van een anorganische voorlopersamenstelling bloot te stellen. De samenstelling reageert met hydroxylgroepen en of geabsorbeerde watermolecules op de oppervlakte van het membraan en op de oppervlakte zo geabsorbeerd. De damp van het water, de zuurstof, of de dampen die één of meerdere zuurstof ligands zoals een alcohol bevatten worden gebruikt om het gedeponeerde materiaal aan het anorganische membraan te hydroliseren.