A method and structure that provides a battery within an integrated circuit
for providing voltage to low-current electronic devices that exist within
the integrated circuit. The method includes Front-End-Of-Line (FEOL)
processing for generating a layer of electronic devices on a semiconductor
wafer, followed by Back-End-Of-Line (BEOL) integration for wires
connecting the electronic devices together to form completed electrical
circuits of the integrated circuit. The BEOL integration includes forming
a multilayered structure of wiring levels on the layer of electronic
devices. Each wiring level includes conductive metallization (e.g.,
metal-plated vias, conductive wiring lines, etc.) embedded in insulative
material. The battery is formed during BEOL integration within one or more
wiring levels, and the conductive metallization conductively couples
positive and negative terminals of the battery to the electronic devices.
The battery may have several different topologies relative to the
structural and geometrical relationships among the battery electrodes and
electrolyte. Multiple batteries may be formed within one or more wiring
levels, and may be conductively coupled to the electronic devices. The
multiple batteries may be connected in series or in parallel.
Метод и структура обеспечивает батарею внутри интегрированная цепь для снабубежать напряжение тока низкоточные электронные приспособления существуют внутри интегрированная цепь. Метод вклюает Передн-Конц-$$$-Linih (FEOL) обрабатывая для производить слой электронных приспособлений на вафле полупроводника, последованный за внедрением Назад-Конц-$$$-Линии (BEOL) для проводов соединяя электронные приспособления совместно к цепям завершитым формой электрическим интегрированной цепи. Внедрение BEOL вклюает формировать multilayered структуру уровней проводки на слое электронных приспособлений. Каждый уровень проводки вклюает проводное металлизирование (например, металл-pokrynnye vias, проводные линии проводки, etc.) врезано в insulative материале. Батарея сформирована во время внедрения BEOL внутри one or more уровни проводки, и проводное металлизирование проводно соединяет положительные и отрицательные стержни батареи к электронным приспособлениям. Батарея может иметь несколько по-разному топологий по отношению к структурно и геометрическим отношениям среди электродов и электролита батареи. Множественные батареи могут быть сформированы внутри one or more уровни проводки, и могут проводно быть соединены к электронным приспособлениям. Множественные батареи могут быть подключены в серии или параллельно.