A method for forming plural waveguide structures in an optical substrate, such as lithium niobate, employs multiple stages of annealed proton exchange. In each stage, the substrate is masked to define a region corresponding to at least one waveguide structure. The mask-defined region is exposed to a proton exchange agent for a predetermined time and at a predetermined temperature, and the substrate is then annealed at predetermined time/temperature conditions. By selecting appropriate process parameters for each APE stage, each of the resultant waveguide structures may be optimized for desired physical and optical characteristics. The method may be utilized, for example, to fabricate sub-Rayleigh range couplers having high coupling efficiencies.

Une méthode pour former les structures plurielles de guide d'ondes dans un substrat optique, tel que le niobate de lithium, utilise les étapes multiples de l'échange de proton recuit. Dans chaque étape, le substrat est masqué pour définir une région correspondant au moins à une structure de guide d'ondes. La région masque-définie est exposée à un agent d'échange de proton pendant un temps prédéterminé et à une température prédéterminée, et le substrat est alors recuit aux états prédéterminés de time/temperature. En choisissant des paramètres de processus appropriés pour chaque étape de SINGE, chacune des structures résultantes de guide d'ondes peut être optimisée pour des caractéristiques physiques et optiques désirées. La méthode peut être utilisée, par exemple, pour fabriquer les coupleurs secondaires-Rayleigh de gamme ayant des efficacités élevées d'accouplement.