An interference modulator (Imod) incorporates anti-reflection coatings and/or micro-fabricated supplemental lighting sources. An efficient drive scheme is provided for matrix addressed arrays of IMods or other micromechanical devices. An improved color scheme provides greater flexibility. Electronic hardware can be field reconfigured to accommodate different display formats and/or application functions. An IMod's electromechanical behavior can be decoupled from its optical behavior. An improved actuation means is provided, some one of which may be hidden from view. An IMod or IMod array is fabricated and used in conjunction with a MEMS switch or switch array. An IMod can be used for optical switching and modulation. Some IMods incorporate 2-D and 3-D photonic structures. A variety of applications for the modulation of light are discussed. A MEMS manufacturing and packaging approach is provided based on a continuous web fed process. IMods can be used as test structures for the evaluation of residual stress in deposited materials.

Un modulatore di interferenza (Imod) comprende i rivestimenti di antiriflessione e/o le fonti di luce supplementari micro-fabbricate. Uno schema efficiente dell'azionamento è fornito per gli allineamenti indirizzati tabella di IMods o di altri dispositivi micromechanical. Lle combinazioni colori migliorate forniscono la flessibilità più grande. I fissaggi elettronici possono essere campo modificato per accomodare i formati di affissione e/o le funzioni differenti di applicazione. Il comportamento elettromeccanico del IMod può essere disaccoppiato dal relativo comportamento ottico. Il mezzo migliorato di attuazione è fornito, circa di cui può essere nascosto dalla vista. Un allineamento di IMod o di IMod è fabbricato ed usato insieme con un interruttore di MEMS o un allineamento dell'interruttore. Un IMod può essere usato per la commutazione e la modulazione ottiche. Un certo IMods comprende il 2-D e le strutture photonic 3-D. Una varietà di domande di modulazione di luce è discussa. Un manufacturing di MEMS e un metodo impaccante è fornito hanno basato su un processo continuo del fed di fotoricettore. IMods può essere usato come strutture della prova per la valutazione dello sforzo residuo in materiali depositati.