An electric discharge laser with fast wavelength correction. Fast wavelength correction equipment includes at least one piezoelectric drive and a fast wavelength measurement system and fast feedback response times. In a preferred embodiment, equipment is provided to control wavelength on a slow time frame of several milliseconds, on a intermediate time from of about one to five milliseconds and on a very fast time frame of a few microseconds. Preferred techniques include a combination of a relatively slow stepper motor and a very fast piezoelectric driver for tuning the laser wavelength using a tuning mirror. A preferred control technique is described (utilizing a very fast wavelength monitor) to provide the slow and intermediate wavelength control with the combination of a stepper motor and a piezoelectric driver. Very fast wavelength control is provided with a piezoelectric load cell in combination with the piezoelectric driver. Preferred embodiments provide (1) fast feedback control based on wavelength measurements, (2) fast vibration control, (3) active damping using the load cell and an active damping module, (4) transient inversion using feed forward algorithms based on historical burst data. A preferred embodiment adapts the feed forward algorithms to current conditions. Another preferred embodiment measures tuning mirror position to permit wavelength pretuning and active wavelength tuning.

Un laser électrique de décharge avec la correction rapide de longueur d'onde. L'équipement rapide de correction de longueur d'onde inclut au moins une commande piézoélectrique et des temps de réponse de système de mesure de longueur d'onde et rapides rapides de rétroaction. Dans un mode de réalisation préféré, l'équipement est fourni à la longueur d'onde de commande sur une tranche de temps lente de plusieurs millisecondes, un temps intermédiaire de d'environ une à cinq millisecondes et sur une tranche de temps très rapide de quelques micro-secondes. Les techniques préférées incluent une combinaison d'un moteur de pas relativement lent et d'un conducteur piézoélectrique très rapide pour accorder la longueur d'onde de laser à l'aide d'un miroir d'accord. Une technique préférée de commande est décrite (utilisant un moniteur très rapide de longueur d'onde) pour fournir à la commande lente et intermédiaire de longueur d'onde la combinaison d'un moteur de pas et d'un conducteur piézoélectrique. La commande très rapide de longueur d'onde est équipée de cellule de charge piézoélectrique en combination avec le conducteur piézoélectrique. Les modes de réalisation préférés fournissent (1) la commande rapide de rétroaction basée sur des mesures de longueur d'onde, (2) commande rapide de vibration, (3) atténuation active à l'aide de la cellule de charge et d'un module d'atténuation actif, (4) inversion passagère en utilisant des algorithmes d'alimentation en avant basés sur des données historiques d'éclat. Un mode de réalisation préféré adapte les algorithmes vers l'avant d'alimentation aux conditions courantes. Un autre mode de réalisation préféré mesure accorder la position de miroir pour permettre la longueur d'onde pretuning et accordant actif de longueur d'onde.