An optical MEM device is encapsulated with a dampening gas to reduce
oscillatory vibrations of movable parts during the operation of the
device. Preferably, the dampening gas comprises one or more noble gases,
such as neon and/or krypton with a partial pressure in a range of 50 to
100% of the total dampening gas pressure. In further embodiments, the
dampening gas comprises a mixture of one or more noble gases and an inert
carrier gas, such as nitrogen. Preferably, the optical MEM device is
sealed within a die with a dampening gas pressure between 0.5 to 3.0
atmospheres at 20 degree Celsius. The current invention is particularly
useful for reducing oscillatory vibrations of optical MEM devices having a
plurality of movable ribbon structures configured to modulate light with
one or more wavelengths in the near infrared (800 to 4000 nanometers) and
which operate at high switching rates (4-40 Volts/nano second) and at high
switching frequencies (1 kHz and greater).
Een optisch apparaat MEM is ingekapseld met een het bevochtigen gas om oscillerende trillingen van beweegbare delen tijdens de verrichting van het apparaat te verminderen. Bij voorkeur, bestaat het het bevochtigen gas uit één of meerdere edele gassen, zoals neon en/of krypton met een gedeeltelijke druk in een waaier van 50 tot 100% van het totaal dat gasdruk bevochtigt. In verdere belichamingen, bestaat het het bevochtigen gas uit een mengsel van één of meerdere edele gassen en een inert draaggas, zoals stikstof. Bij voorkeur, wordt het optische apparaat MEM verzegeld binnen een matrijs met een het bevochtigen gasdruk tussen 0,5 tot 3,0 atmosferen bij 20 graad Celsius. De huidige uitvinding is bijzonder nuttig om oscillerende trillingen van optische apparaten te verminderen MEM die een meerderheid van beweegbare lintstructuren die worden gevormd hebben om licht met één of meerdere golflengten in dichtbijgelegen infrarood (800 tot 4000 nanometers) te moduleren en die aan hoge omschakelingstarieven (4-40 Volts/nano tweede) en bij hoge omschakelingsfrequenties (1 kHz en groter) werken.
