An integrated RF amplifier and resonator is provided for use with an ion accelerator. The amplifier includes an output substantially directly coupled with a resonator coil. The amplifier output may be coupled capacitively or inductively. In addition, an apparatus is provided for accelerating ions in an ion implanter. The apparatus comprises an amplifier with an RF output, a tank circuit with a coil substantially directly coupled to the RF output of the amplifier, and an electrode connected to the coil for accelerating ions. Also provided is a method for coupling an RF amplifier with a resonator in an ion accelerator. The method comprises connecting the RF output of the amplifier to a coupler, and locating the coupler proximate the coil, thereby substantially directly coupling the RF output of the amplifier with the resonator coil.

Un amplificador integrado y el resonador del RF se proporciona para el uso de un acelerador del ion. El amplificador incluye una salida juntada substancialmente directamente con una bobina del resonador. La salida del amplificador se puede juntar capacitively o inductivo. Además, un aparato se proporciona para los iones de aceleración en un implanter del ion. El aparato abarca un amplificador con una salida del RF, un circuito del tanque con una bobina juntada substancialmente directamente a la salida del RF del amplificador, y un electrodo conectado con la bobina para los iones de aceleración. También se proporciona un método para juntar un amplificador del RF con un resonador en un acelerador del ion. El método abarca conectar la salida del RF del amplificador con un acoplador, y el localización del acoplador próximo la bobina, de tal modo substancialmente directo empalme la salida del RF del amplificador con la bobina del resonador.