An optical waveguide is produced by forming on a substrate a waveguide layer and/or a clad layer containing, as their main ingredient, polyimide with a fluorine substitution rate of 30% or higher (thus as a fluorinated polyimide layer), with a primer layer laid in between that contains, as its main ingredient, polyimide with a fluorine substitution rate of 10% or lower (including 0%). This improves adherence of the fluorinated polyimide layer to the substrate and prevents the fluorinated polyimide layer from peeling off the substrate. For more effective prevention of such peeling-off and of warping of the substrate, the primer layer is preferably formed to have a thickness of 0.1 to 20 .mu.m. The primer layer may contain a coupling agent.

Una guida di onde ottica è prodotta formando su un substrato un lo strato della guida di onde e/o uno strato placcato che contengono, come loro ingrediente principale, il polyimide con un tasso della sostituzione del fluoro di 30% o più alto (così come strato fluorato di polyimide), con uno strato più superelegante posto fra quello contiene, come relativo ingrediente principale, il polyimide con un tasso della sostituzione del fluoro di 10% o si abbassa (0% compreso). Ciò migliora l'aderenza dello strato fluorato di polyimide al substrato ed impedisce lo strato fluorato di polyimide la sbucciatura fuori del substrato. Per la prevenzione più efficace di tale sbucciatura-fuori e di deformazione del substrato, lo strato più superelegante è formato preferibilmente per avere uno spessore di mu.m 0.1 - 20. Lo strato più superelegante può contenere un agente dell'accoppiamento.