A lift/tilt assembly for use in a semiconductor wafer processing device is set forth. The lift/tilt assembly includes a linear guide comprising a fixed frame and a moveable frame. A nest for accepting a plurality of semiconductor wafers is rotatably connected to the moveable frame. The nest rotates between a wafer-horizontal orientation and a wafer-vertical orientation as it is driven with the movable frame by a motor that is coupled to the linear way. A lever connected to the nest provides an offset from true vertical for the nest when the nest is in the wafer-vertical orientation.

Установлен агрегат lift/tilt для пользы в вафле полупроводника обрабатывая приспособление. Агрегат lift/tilt вклюает линейный направляющий выступ состоя из фикчированной рамки и подвижной рамки. Гнездй для признавать множественность вафель полупроводника ротатабельн соединено к подвижной рамке. Гнездй вращает между вафл-gorizontal6no1 ориентацией и вафл-vertikal6no1 ориентацией по мере того как оно управляется с подвижной рамкой мотором соединен к линейной дороге. Рукоятка соединенная к гнездю обеспечивает смещение от поистине вертикали для гнездя когда гнездй находится в вафл-vertikal6no1 ориентации.

 
Web www.patentalert.com

< Small-size color electro-photographic apparatus

< Niobium powder for capacitor, sintered body using the powder and capacitor using the same

> Liquid crystal display device including a stack of plurality of resin film and method for fabricating the same

> Thin-film magnetic head including two stacked pole portion layers of equal widths, and method of manufacturing same

~ 00092