A lift/tilt assembly for use in a semiconductor wafer processing device is
set forth. The lift/tilt assembly includes a linear guide comprising a
fixed frame and a moveable frame. A nest for accepting a plurality of
semiconductor wafers is rotatably connected to the moveable frame. The
nest rotates between a wafer-horizontal orientation and a wafer-vertical
orientation as it is driven with the movable frame by a motor that is
coupled to the linear way. A lever connected to the nest provides an
offset from true vertical for the nest when the nest is in the
wafer-vertical orientation.
Установлен агрегат lift/tilt для пользы в вафле полупроводника обрабатывая приспособление. Агрегат lift/tilt вклюает линейный направляющий выступ состоя из фикчированной рамки и подвижной рамки. Гнездй для признавать множественность вафель полупроводника ротатабельн соединено к подвижной рамке. Гнездй вращает между вафл-gorizontal6no1 ориентацией и вафл-vertikal6no1 ориентацией по мере того как оно управляется с подвижной рамкой мотором соединен к линейной дороге. Рукоятка соединенная к гнездю обеспечивает смещение от поистине вертикали для гнездя когда гнездй находится в вафл-vertikal6no1 ориентации.