A system and method for testing substrates is generally provided. In one embodiment, a test system for testing a substrate includes a load lock chamber, a transfer chamber and a test station. The load lock chamber and the test station are disposed on top of one another and coupled to the transfer chamber. The transfer chamber includes a robot adapted to transfer a substrate between the load lock chamber, which is at a first elevation, and the test station, which is at a second elevation. In another embodiment, a test station is provided having a turntable adapted to rotate the substrate. The turntable enables the range of motion required to test the substrate to be substantially reduced while facilitating full test and/or inspection of the substrate.

Een systeem en een methode om substraten worden te testen over het algemeen verstrekt. In één belichaming, omvat een testsysteem om een substraat te testen een kamer van het ladingsslot, een overdrachtkamer en een testpost. De kamer van het ladingsslot en de testpost worden geschikt bovenop elkaar en aan de overdrachtkamer gekoppeld. De overdrachtkamer omvat een robot die wordt aangepast om een substraat tussen de kamer van het ladingsslot, die bij een eerste verhoging zijn, en de testpost over te brengen, die bij een tweede verhoging is. In een andere belichaming, wordt een testpost verstrekt hebbend een draaischijf die wordt aangepast om het substraat te roteren. De draaischijf laat de waaier van motie toe die wordt vereist om het substraat te testen wezenlijk te verminderen terwijl het vergemakkelijken van volledige test en/of inspectie van het substraat.