Substrate positioning and substrate transporting are processed in parallel, thereby reducing substrate transfer apparatus wait time and improving substrate processing throughput. A substrate transfer apparatus 1 is configured in a single unit, a plural number of wafers W prior to notch alignment is transported at one time from a substrate accommodating container to a substrate alignment apparatus 22, and the plural number of notch aligned wafers is transported from the substrate alignment apparatus 22 to a boat 21. Two stages (upper and lower) of notch alignment units 4 and 5 that configure the substrate alignment apparatus 22 operate independently, and are capable of performing notch alignment, in total, on a number of wafers to be processed that is twice the number of wafers transported at one time by the substrate transfer apparatus 1. While notch alignment is being performed in the one notch alignment unit 4, notch aligned wafers W are transported by the substrate transfer apparatus from the other notch alignment unit 5 to the boat 21, and then wafers prior to notch alignment are transported from the substrate accommodating container to the other notch alignment unit 5.

El substrato que coloca y transporte del substrato se procesa en paralelo, de tal modo reduciendo tiempo de la espera del aparato de la transferencia del substrato y mejorando rendimiento de procesamiento de proceso del substrato. Un aparato 1 de la transferencia del substrato se configura en una sola unidad, un número plural de las obleas W antes de la alineación de la muesca se transporta contemporáneamente de un envase servicial del substrato a un aparato 22 de la alineación del substrato, y el número plural de obleas alineadas muesca se transporta del aparato 22 de la alineación del substrato a un barco 21. Dos etapas (superiores y baje) de las unidades 4 y 5 de la alineación de la muesca que configuran el aparato 22 de la alineación del substrato funcionan independientemente, y son capaces de realizar la alineación de la muesca, en el total, en un número de obleas que se procesarán que es dos veces el número de las obleas transportadas contemporáneamente por el aparato 1 de la transferencia del substrato. Mientras que la alineación de la muesca se está realizando en la una unidad 4 de la alineación de la muesca, las obleas alineadas muesca W son transportadas por el aparato de la transferencia del substrato de la otra unidad 5 de la alineación de la muesca al barco 21, y entonces las obleas antes de la alineación de la muesca se transportan del envase servicial del substrato a la otra unidad 5 de la alineación de la muesca.