The present invention includes an integrated circuit switch including a membrane supported over a first conductor on a substrate, a conductive region on the membrane and connecting to the first conductor on the substrate, a pulldown electrode on the substrate and under the membrane and a pillar to support the membrane after the pulldown threshold has been reached. A voltage greater than a pulldown threshold is applied between the membrane and the pulldown electrode will pull the membrane down to make a capacitive coupling to the first conductor. The addition of the pillars increases the upward restoring force when the activation voltage is removed.

La actual invención incluye un interruptor del circuito integrado incluyendo un excedente apoyado membrana un primer conductor en un substrato, una región conductora en la membrana y el conectar con el primer conductor en el substrato, un electrodo del pulldown en el substrato y debajo de la membrana y de un pilar para apoyar la membrana después de que se haya alcanzado el umbral del pulldown. Un voltaje mayor que un umbral del pulldown se aplica entre la membrana y el electrodo del pulldown tirará hacia abajo la membrana para hacer un acoplador capacitivo al primer conductor. La adición de los pilares aumenta la fuerza de restauración ascendente cuando se quita el voltaje de la activación.