The invention concerns an apparatus for optically characterising a thin-layer material by backscattering Raman spectometry comprising a frame, a monochromatic excitation laser source (21), optical means (23, 24) directing a light flux emitted by the source towards the material to be characterised, provided with means (22) homogenising the distribution of energy per surface unit, over a minimum surface of some tens of square micrometers, and means for collecting (24) and selecting (27, 28) the light diffused by Raman effect. The apparatus further comprises reflectometric measuring means (3-14) integral with the Raman measuring means, including reflectometric excitation means (3-9) directed on the same sample zone as the Raman excitation means.

De uitvinding betreft een apparaat om een thin-layer materiaal door backscattering spectometry Raman optisch te kenmerken bestaand uit een kader, een monochromatische bron van de opwindingslaser (21), optische middelen (23, 24) opdracht gevend aan een lichte stroom die door de bron naar het materiaal wordt uitgezonden om worden gekenmerkt, verstrekt met middelen (22) de distributie van energie per oppervlakteeenheid homogeniseren, over een minimumoppervlakte van sommige tientallen vierkante micrometers, en middelen die om (24) te verzamelen en te selecteren (27, 28) het licht dat door Raman effect wordt verspreid. Het apparaat bestaat verder uit reflectometric het meten middelen (314) integraal met Raman metend middelen, met inbegrip van reflectometric opwindingsmiddelen (39) die op de zelfde steekproefstreek zoals worden geleid de Raman opwindingsmiddelen.