A compact turbo-molecular pump having a high depressurizing capability. A motor for rotating a rotor vane includes an air bearing. The air bearing has a rotary cylinder and a fixed surface surrounding the rotary cylinder. The material of the rotary cylinder has a coefficient of thermal expansion that is smaller than that of the material of the fixed surface. Thus, change in the dimensions of the rotary cylinder is smaller than that of the fixed surface even if the temperature of the air bearing rises during operation of the pump. Thus, the rotary cylinder avoids contact with the fixed surface.

Una bomba turbo-molecular compacta que tiene una alta capacidad que despresuriza. Un motor para rotar una paleta del rotor incluye un cojinete de aire. El cojinete de aire tiene un cilindro rotatorio y una superficie fija que rodean el cilindro rotatorio. El material del cilindro rotatorio tiene un coeficiente de la extensión termal que es más pequeña que la del material de la superficie fija. Así, el cambio en las dimensiones del cilindro rotatorio es más pequeño que el del superficial fijo incluso si la temperatura del cojinete de aire se levanta durante la operación de la bomba. Así, el cilindro rotatorio evita el contacto con la superficie fija.