Techniques for increasing the percentage of light that is transmitted through optical inspection systems that operate in or near the ultraviolet and deep ultraviolet electromagnetic spectrums are described. Along with increasing the amount of light transmission, the techniques of the present invention also provide additional advantages such as reduction of ripple, increased ability to match inspection systems, and improving manufacturability. The techniques of the present invention involve using an auto-focus light source near the operational range of the inspection system and slightly raising the lower end of the operational range.

Las técnicas para aumentar el porcentaje de la luz que se transmite a través de los sistemas ópticos de la inspección que funcionan adentro o acercan a ultravioleta y se describen los espectros electromágneticos profundamente ultravioletas. Junto con el aumento de la cantidad de transmisión ligera, las técnicas de la actual invención también proporcionan ventajas adicionales tales como reducción de la ondulación, capacidad creciente de emparejar sistemas de la inspección, y mejorar manufacturability. Las técnicas de la actual invención implican el usar de una fuente de luz del auto-focus cerca de la gama operacional del sistema de la inspección y levemente el levantar del extremo inferior de la gama operacional.