Micromachined passive alignment assemblies and methods of using and making the same are provided. The alignment assemblies are used to align at least one optical element. The alignment assemblies may be configured with kinematic, pseudo-kinematic, redundant or degenerate support structures. One alignment assembly comprises a base and a payload, which supports at least one optical element. The payload may be coupled to the base via connecting structures. The base, the payload and/or the connecting structures may have internal flexure assemblies for preloading a connection, thermal compensation and/or strain isolation.

Os conjuntos do alinhamento de Micromachined e os métodos passivos de usar e de fazer o mesmo são fornecidos. Os conjuntos do alinhamento são usados alinhar ao menos um elemento ótico. Os conjuntos do alinhamento podem ser configurarados com estruturas kinematic, pseudo-pseudo-kinematic, redundantes ou degenerate da sustentação. Um conjunto do alinhamento compreende uma base e um payload, que suporte ao menos um elemento ótico. O payload pode ser acoplado à base através das estruturas conectando. A base, o payload e/ou as estruturas conectando podem ter os conjuntos internos do flexure para preloading uma conexão, uma compensação térmica e/ou uma isolação da tensão.