An apparatus for monitoring the Z-axis position of a transfer blade on a wafer transfer robot which transfers wafers among multiple chambers in a semiconductor fabrication facility. The invention comprises a CCD laser displacement sensor which measures the height or Z-axis position of the transfer blade and generates an analog voltage the value of which depends on the height of the transfer blade. An analog controller connected to the CCD laser displacement sensor converts the analog voltage signal to physical distance, which may be displayed on an LCD display on the analog controller. The analog controller may further be connected to a robot controller through an interface PCB, in which case a voltage signal corresponding to an abnormal position of the transfer blade is transmitted to the robot controller and the wafer transfer operation is terminated.

Um instrumento para monitorar a posição da Z-linha central de uma lâmina de transferência em um robô de transferência do wafer que transfira wafers entre câmaras múltiplas em uma facilidade da fabricação do semicondutor. A invenção compreende um sensor do deslocamento do laser do CCD que meça a posição da altura ou da Z-linha central da lâmina de transferência e gera uma tensão análoga o valor de que depende da altura da lâmina de transferência. Um controlador análogo conectou aos conversos do sensor do deslocamento do laser do CCD o sinal da tensão análoga à distância física, que pode ser indicada em uma exposição do LCD no controlador análogo. O controlador análogo pode mais mais ser conectado a um controlador do robô através de um PWB da relação, que no caso um sinal da tensão que corresponde a uma posição anormal da lâmina de transferência é transmitido ao controlador do robô e a operação de transferência do wafer é terminada.