A optoelectronic module comprises one or more VCSELs electrically connected
to an IC and optically connected to a fiber optic faceplate. The fiber
optic faceplate, comprising a closely packed bundle of optical fibers,
permits efficient capture of light from the VCSELs. Precise alignment of
the faceplate with respect to the VCSELs is not needed since light not
collected by one fiber is captured by another nearby optical fiber. One
method of fabricating the module comprises forming substrate layers on
both sides of the VCSELs such that features can be formed on the first
substrate layer while the second temporary substrate layer provides
structural support. The method further comprises forming apertures on the
first substrate layer by etching. An etch stop buffer layer positioned
between the first substrate layer and the VCSELs protects the VCSELs from
being etched in the process. The second temporary substrate layer is
removed after the fiber optic faceplate is mounted on the first substrate
side. An alternate method of VCSEL fabrication comprises forming an
aperture by patterning a dielectric layer above an active layer within the
VCSEL. The aperture in the dielectric layer can be formed with a high
degree of precisely using conventional patterning techniques. The
dielectric layer is part of a current confinement element that
concentrates current in an active region. A top DBR can also be formed of
multiple layers of dielectric.
Een optoelectronic module bestaat uit één of meerdere VCSELs die elektrisch met IC wordt verbonden en die optisch met een vezel optisch draagvlak wordt verbonden. Het vezel optische draagvlak, dat uit een dicht ingepakte bundel van optische vezels bestaat, laat efficiënt toe vangt van licht van VCSELs. De nauwkeurige groepering van het draagvlak met betrekking tot VCSELs is niet nodig aangezien licht niet dat door één vezel wordt het verzameld door een andere nabijgelegen optische vezel wordt gevangen. Één methode om de module te vervaardigen bestaat uit het vormen van substraatlagen aan beide kanten van VCSELs dusdanig dat de eigenschappen op de eerste substraatlaag kunnen worden gevormd terwijl de tweede tijdelijke substraatlaag structurele steun verleent. De methode bestaat verder uit het vormen van openingen op de eerste substraatlaag door ets. Ets de laag van de eindebuffer die tussen de eerste substraatlaag wordt geplaatst en VCSELs beschermt VCSELs tegen wordt geëtst in het proces. De tweede tijdelijke substraatlaag wordt verwijderd nadat het vezel optische draagvlak aan de eerste substraatkant wordt opgezet. Een afwisselende methode van vervaardiging VCSEL bestaat uit het vormen van een opening door een diëlektrische laag boven een actieve laag binnen VCSEL te vormen. De opening in de diëlektrische laag kan met een hoge graad worden gevormd van precies het gebruiken van conventionele het vormen technieken. De diëlektrische laag maakt deel uit van een huidig beperkingselement dat stroom in een actief gebied concentreert. Een hoogste DBR kan ook van veelvoudige lagen van diëlektrisch worden gevormd.