An electrically insulating vacuum coupling for use in an ion implanter for connecting any two parts of the vacuum chamber housing together while maintaining the electrical potentials of the two parts. The coupling comprises an inner sleeve of ceramic material (e.g. Al.sub.2 O.sub.3) and an outer sleeve of a polymer/litharge mixture. The polymer may be a urethane polymer. Litharge is included in the material of the outer sleeve to absorb x-rays produced within the vacuum chamber. The coupling is particularly useful for coupling an ion source to the main housing of the vacuum chamber

Un accouplement électriquement isolant de vide pour l'usage dans un implanter d'ion pour relier deux pièces quelconques du logement de chambre de vide ensemble tout en maintenant les potentiels électriques des deux pièces. L'accouplement comporte une douille intérieure du matériel en céramique (par exemple Al.sub.2 O.sub.3) et une douille externe d'un mélange de polymer/litharge. Le polymère peut être un polymère d'uréthane. La litharge est incluse dans le matériel de la douille externe pour absorber des rayons X produits dans la chambre de vide. L'accouplement est particulièrement utile pour coupler une source d'ion au logement principal de la chambre de vide