A defect inspection apparatus for detecting defects existing on a surface of a semiconductor sample and/or inside the sample based on light information from the sample obtained by irradiating a light beam onto the sample is provided, which comprises a detecting means for detecting positions in the depth direction where the defects exist and distribution of the defects based on the light information; a setting means for setting a position in the depth direction where defects exist; and a means for displaying the distribution of the defects obtained by the detecting means, the displaying means displaying the distribution of the defects corresponding to the position in the depth direction set by the setting means.

Um instrumento da inspeção do defeito para detectar defeitos existir em uma superfície de um semicondutor prova e/ou o interior que a amostra baseou na informação clara da amostra obtida irradiating um feixe luminoso na amostra é fornecido, que compreende meios detectando para detectar posições no sentido da profundidade onde os defeitos existem e na distribuição dos defeitos baseados na informação clara; meios de um ajuste para ajustar uma posição no sentido da profundidade onde os defeitos existem; e meios para indicar a distribuição dos defeitos obtidos pelos meios detectando, os meios indicando que indicam a distribuição dos defeitos que correspondem à posição no jogo do sentido da profundidade pelos meios do ajuste.