The present invention relates to a novel polymer comprising at least one unit derived from an ethylenically unsaturated compound containing at least one cyano functionality and at least one nonaromatic cyclic unit. The novel polymer is particularly useful when used in a photoresist composition sensitive in the deep ultraviolet region.

Die anwesende Erfindung bezieht auf einem Romanpolymer-Plastik, das mindestens eine Maßeinheit enthält, die von einem äthylenisch ungesättigten Mittel abgeleitet wird, das mindestens eine Cyanofunktionalität und mindestens eine nonaromatic zyklische Maßeinheit enthält. Das Romanpolymer-Plastik ist besonders nützlich, wenn es in einem Photoresistaufbau verwendet wird, der in der tiefen ultravioletten Region empfindlich ist.