The present invention relates to a control system for an electrostatically-driven microelectromechanical device, which uses multiple electrodes to control the microelectromechanical device, i.e. the lower driven electrode of a capacitor with known two parallel driven electrodes is cut into a number of small electrodes. By selecting an electrode pattern for a desired electrostatic force, it is capable of altering the non-linearity of the device based on various applications and achieving a characteristic such as a linear driven, digital driven, or ultimately optimal driven manners, which is able to reach high operation accuracy for the existing circuit that only possesses a limited accuracy.

Η παρούσα εφεύρεση αφορά ένα σύστημα ελέγχου για μια ελεθτροστατηθαλλυ-οδηγημένη microelectromechanical συσκευή, η οποία χρησιμοποιεί τα πολλαπλάσια ηλεκτρόδια για να ελέγξει τη microelectromechanical συσκευή, δηλ. το χαμηλότερο οδηγημένο ηλεκτρόδιο ενός πυκνωτή με γνωστός δύο παράλληλα οδηγημένα ηλεκτρόδια κόβεται σε διάφορα μικρά ηλεκτρόδια. Με την επιλογή ενός σχεδίου ηλεκτροδίων για μια επιθυμητή ηλεκτροστατική δύναμη, είναι σε θέση τη μη γραμμικότητα της συσκευής βασισμένης στις διάφορες εφαρμογές και ένα χαρακτηριστικό όπως γραμμικοί οδηγημένοι, ψηφιακοί οδηγημένοι, ή τελικά βέλτιστοι οδηγημένοι τρόποι, το οποίο είναι σε θέση να φθάσει στην υψηλή ακρίβεια λειτουργίας για το υπάρχον κύκλωμα που κατέχει μόνο μια περιορισμένη ακρίβεια.