A system for a monitoring lithography lasers at integrated circuit fabrication plants. Each laser at each fabrication plant has associated with it a terminal server. With respect to each fabrication plant a central control server unit is in communication with each of the lasers through a local area network. Information from the lasers is collected by the central control server unit and the information is used to provide summary information which is made available in a web site format to interested parties having access authorization.

Un sistema para los lasers de supervisión de una litografía en las plantas de fabricación del circuito integrado. Cada laser en cada planta de fabricación ha asociado a él un servidor terminal. Con respecto a cada planta de fabricación una unidad central del servidor del control está en la comunicación con cada uno de los lasers a través de una red de área local. La información de los lasers es recogida por la unidad central del servidor del control y la información se utiliza para proporcionar la información sumaria que se hace disponible en un formato del Web site a los partidos interesados que tienen autorización de acceso.

 
Web www.patentalert.com

< Optical communication with predistortion to compensate for odd order distortion in modulation and travel

< FM modulator

> Wafer bonded vertical cavity surface emitting laser systems

> Non-synchronous control of pulsed light

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