A microfabricated probe array for nanolithography and process for designing
and fabricating the probe array. The probe array consists of individual
probes that can be moved independently using thermal bimetallic actuation
or electrostatic actuation methods. The probe array can be used to produce
traces of diffusively transferred chemicals on the substrate with sub-1
micrometer resolution, and can function as an arrayed scanning probe
microscope for subsequent reading and variation of transferred patterns.
A microfabricated la rangée de sonde pour le nanolithography et le processus pour concevoir et fabriquer la rangée de sonde. La rangée de sonde se compose des différentes sondes qui peuvent être déplacées indépendamment en utilisant la mise en action bimétallique thermique ou les méthodes électrostatiques de mise en action. La rangée de sonde peut être employée pour produire des traces des produits chimiques diffusively transférés sur le substrat avec la résolution du micromètre sub-1, et peut fonctionner comme microscope rangé de sonde de balayage pour la lecture et la variation suivantes des modèles transférés.
