Data are collected for deriving response models and information required
for developing and maintaining processes and process tools. Methods and
apparatus for collecting the data include a sensor apparatus capable of
collecting data with less perturbation and fewer disruptions than is
usually possible using standard methods. The sensor apparatus is capable
of being loaded into a process tool. From within the process tool, the
sensor apparatus is capable of measuring data, processing data, storing
data, and transmitting data. The sensor apparatus has capabilities for
near real time data collection and communication.
Данные собраны для выводить модели и данные по реакции необходимы для превращаясь и поддерживая процессов и инструментов процесса. Методы и приборы для собирать данные вклюают прибор датчика способный собирать данные с меньше возмущением и немногими нарушениями чем будет обычно по возможности использование стандартный метод. Прибор датчика способен быть нагруженным в отростчатый инструмент. От внутри отростчатого инструмента, прибор датчика способен измерять данные, обрабатывать данные, хранить данные, и передавать данные. Прибор датчика имеет возможности для почти реальных собрания и связи данным по времени.
