A cleanroom lift for maneuvering large objects such as turbomolecular pumps
utilized in semiconductor processing applications is provided. In one
embodiment, the lift includes a vertically movable carriage coupled to a
linkage assembly. The linkage assembly has a first link and a second link.
Each link has one piece construction to minimize deflection under load.
The first link is coupled to the carriage by a carriage shaft assembly and
to the second link by a linkage shaft assembly. The second link is coupled
to the linkage shaft assembly and a gripper assembly. Optionally, a third
link and second shaft assembly may be disposed between the gripper
assembly and the second link to minimize the weight of the links to
facilitate assembly in cleanroom environments.
Ένας ανελκυστήρας αποστειρωμένων δωματίων για τα μεγάλα αντικείμενα ελιγμού όπως οι turbomolecular αντλίες που χρησιμοποιούνται στις εφαρμογές επεξεργασίας ημιαγωγών παρέχεται. Σε μια ενσωμάτωση, ο ανελκυστήρας περιλαμβάνει μια κάθετα κινητή μεταφορά που συνδέεται με μια συνέλευση συνδέσμων. Η συνέλευση συνδέσμων έχει μια πρώτη σύνδεση και μια δεύτερη σύνδεση. Κάθε σύνδεση έχει την ενός κομματιού κατασκευή για να ελαχιστοποιήσει την εκτροπή κάτω από το φορτίο. Η πρώτη σύνδεση συνδέεται με τη μεταφορά από μια συνέλευση άξονων μεταφορών και με τη δεύτερη σύνδεση από μια συνέλευση άξονων συνδέσμων. Η δεύτερη σύνδεση συνδέεται με τη συνέλευση άξονων συνδέσμων και μια συνέλευση πενσών. Προαιρετικά, μια τρίτη σύνδεση και μια δεύτερη συνέλευση άξονων μπορούν να διατεθούν μεταξύ της συνέλευσης πενσών και της δεύτερης σύνδεσης για να ελαχιστοποιήσουν το βάρος των συνδέσεων για να διευκολύνουν τη συνέλευση στα περιβάλλοντα αποστειρωμένων δωματίων.
