An array of movable reflective elements provides wavelength independent
performance in spectral equalizers and other optical devices. Each movable
reflective element comprises a reflective plate that is suspended by
rod-like supports that have a width of less than 2 microns and as small as
about 0.25 to 0.35 microns. Semiconductor processing techniques are used
to form the rod-like supports. An improved spectral equalizer incorporates
the array of movable reflective elements, a controller,
collimating/focusing optics and a diffraction element that optically
communicate in a free-space optics arrangement.
Μια σειρά κινητών αντανακλαστικών στοιχείων παρέχει την ανεξάρτητη απόδοση μήκους κύματος στους φασματικούς εξισωτές και άλλες οπτικές συσκευές. Κάθε κινητό αντανακλαστικό στοιχείο περιλαμβάνει ένα αντανακλαστικό πιάτο που αναστέλλεται από τις ράβδος-όπως υποστηρίξεις που έχουν ένα πλάτος λιγότερο από 2 μικρών και τόσο μικρός όσο περίπου 0,25 έως 0,35 μικρά. Οι τεχνικές επεξεργασίας ημιαγωγών χρησιμοποιούνται για να διαμορφώσουν τις ράβδος-όπως υποστηρίξεις. Ένας βελτιωμένος φασματικός εξισωτής ενσωματώνει τη σειρά κινητών αντανακλαστικών στοιχείων, ένας ελεγκτής, συμφωνώντας/στρέφοντας την οπτική και ένα στοιχείο διάθλασης που επικοινωνούν οπτικά σε μια ελεύθερου χώρου ρύθμιση οπτικής.
