An inkjet recording head includes a two-dimensional array of a pressure
chambers and corresponding array of piezoelectric elements each for
applying a pressure wave to ink in a corresponding pressure chamber. In
fabrication, a piezoelectric plate temporarily bonded onto a substrate is
subjected to sandblasting to form the plurality of piezoelectric elements.
After the piezoelectric elements are bonded as a unit onto a diaphragm
which constitutes part of the walls of the pressure chambers, the
substrate is removed. Dummy patterns equalize the degree of side etching
among the piezoelectric elements.
Ein Tintenstrahlschreibkopf schließt eine zweidimensionale Reihe Räume eines Drucks und entsprechende Reihe piezoelektrische Elemente jede für das Anwenden einer Druckwelle an der Tinte in einem entsprechenden Druckraum ein. In der Herstellung wird eine piezoelektrische Platte, die vorübergehend auf ein Substrat abgebunden wird, Sandstrahlen unterworfen, um die Mehrzahl der piezoelektrischen Elemente zu bilden. Nachdem die piezoelektrischen Elemente während eine Maßeinheit auf eine Membrane abgebunden sind, die Teil der Wände der Druckräume festsetzt, wird das Substrat entfernt. Blinde Muster gleichen den Grad der seitlichen Radierung unter den piezoelektrischen Elementen aus.
