A method and structure for checking legality of books in a phase-shift
circuit design mask which arranges the books in rows, determines a book
polarity of phase shift mask features of each of the books, sums
polarities of the books within each of the rows to produce a row polarity
of phase shift mask features of the row, checks whether the row polarity
complies with legal requirements of the circuit design, and modifies
placement of the books until all of the rows comply with the legal
requirements.
Een methode en een structuur voor het controleren van wettigheid van boeken in een phase-shift masker van het kringsontwerp dat de boeken in rijen, bepaalt een boekpolariteit van het maskereigenschappen van de faseverschuiving van elk van de boeken, optelt polariteit van de boeken binnen elk van de rijen schikt om een rijpolariteit van het maskereigenschappen van de faseverschuiving van de rij te veroorzaken, controleert of de rijpolariteit aan wettelijke eisen van het kringsontwerp voldoet, en wijzigt plaatsing van de boeken tot de elk van rijen aan de wettelijke eisen voldoen.
